PI普爱 P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
PI普爱 P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器
- 2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）
- 行程达200 微米
- 亚纳米级分辨率
应用领域
- 计量
- 干涉测量
- 光子学/集成光学
- 平版印刷术
- 纳米定位
- 扫描显微镜
- 样本对准
- 微加工
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
规格
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Filter |
P-517.2CLP-517.2CD
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P-527.2CLP-527.2CD
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P-517.3CLP-517.3CD
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P-527.3CLP-527.3CD
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P-517.RCD
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P-527.RCD
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单位
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公差
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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主动轴 |
X, Y |
X, Y |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y、θZ |
X、Y、θZ |
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运动和定位
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集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
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-20至120 伏时的开环行程 |
130 微米 |
250 微米 |
X、Y：130 微米 Z：25 微米 |
X、Y：250 微米 Z：25 微米 |
X、Y：130 微米 θZ：±1.3 毫弧度 |
X、Y：250 微米 θZ：±2.5 毫弧度 |
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+20 % / -0 % |
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行程，闭环 |
100 微米 |
200 微米 |
X、Y：100 微米 Z：20 |
X、Y：200 微米 Z：20 |
X、Y：100 微米 θZ：±1 毫弧度 |
X、Y：200 微米 θZ：±2 毫弧度 |
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分辨率，开环 |
0.3 纳米 |
0.5 纳米 |
X、Y：0.3 纳米 Z：0.1 纳米 |
X、Y：0.5 纳米 Z：0.1 纳米 |
X、Y：0.3 纳米 θZ：0.1 微弧度 |
X、Y：0.5 纳米 θZ：0.1 微弧度 |
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典型值 |
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分辨率，闭环 |
1 nm |
2 nm |
X、Y：1 纳米 Z：0.1 纳米 |
X、Y：2 纳米 Z：0.1 纳米 |
X、Y：1 纳米 θZ：0.3微弧度 |
X、Y：2 纳米 θZ：0.3微弧度 |
|
典型值 |
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线性误差 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
% |
典型值 |
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重复精度 |
±5 纳米 |
±10 纳米 |
X、Y：±5 纳米 Z：±1 纳米 |
X、Y：±10 纳米 Z：±1 纳米 |
X、Y：±5 纳米 θZ：±0.5微弧度 |
X、Y：±10 纳米 θZ：±1微弧度 |
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典型值 |
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机械特性
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刚度 |
2 |
1 |
X、Y：2 Z：15 |
X、Y：1 Z：15 |
2 |
1 |
牛/微米 |
±20 % |
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谐振频率，空载 |
450 |
350 |
X、Y：450 Z：1100 |
X、Y：350 Z：1100 |
X、Y：450 θZ：400 |
X、Y：350 θZ：300 |
赫兹 |
±20 % |
|
|
带500 克负载时X、Y向上的谐振频率 |
250 |
190 |
250 |
190 |
250 |
190 |
赫兹 |
±20 % |
|
|
带2500 克负载时X、Y向上的谐振频率 |
140 |
110 |
140 |
110 |
140 |
110 |
赫兹 |
±20 % |
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负载能力* |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
千克 |
最大 |
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|
驱动特性
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压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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电容 |
9.2 |
9.2 |
X、Y：9 Z：6 |
X、Y：9 Z：6 |
9 |
9 |
微法 |
±20 % |
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其他
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工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
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质量 |
1.4 |
1.4 |
1.45 |
1.45 |
1.4 |
1.4 |
千克 |
±5 % |
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传感器/电压连接 |
CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） |
CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） |
CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） |
CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） |
Sub-D25W3（公头） |
Sub-D25W3（公头） |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
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