PI普爱 V-524.1AA 高动态性PIMag线性平台
PI普爱 V-524.1AA 高动态性PIMag线性平台
具有直接位置测量的音圈直接驱动





行程5毫米、10毫米、20毫米
扫描频率超10赫兹
最大速度250毫米/秒
交叉滚子轴承可实现超高精度
PI开发的PIMag音圈电机
参考级线性定位器
采用磁力直接驱动的线性平台在很大程度上省去了动力传动系统中的机械零件,驱动力直接作用于运动平台。与精密轴承相结合,可实现高运动精度和更长的使用寿命。该线性平台尤其适合扫描应用。
PIMag
如果定位系统需要使用市场上现有的驱动元件无法实现的特定性能特性(例如实现高力密度或紧凑设计),则PI会开发专有的磁性电机。PI开发的电机由PIMag品牌名称标识。
增量式线性编码器用于高精度位置测量
非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
PIMag音圈电机
音圈电机为直接驱动器。在直接驱动器中,驱动器元件的力直接传递至要移动的负载,而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。当电流流过绕组体时,绕组体在永磁体的磁场中移动。音圈驱动器重量轻并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
应用领域
工业和科研。计量. 光子以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描.
规格
运动和定位 |
V-522.1AA V-522.1AB |
V-524.1AA V-524.1AB |
V-528.1AA V-528.1AB |
单位 |
公差 |
---|---|---|---|---|---|
主动轴 |
X |
|
|
|
|
行程 |
5 |
10 |
20 |
毫米 |
|
集成传感器 |
光学,增量 |
光学,增量 |
光学,增量 |
|
|
传感器分辨率* |
10 |
10 |
10 |
纳米 |
|
最小位移 |
20 |
20 |
20 |
纳米 |
典型值 |
单向重复精度 |
20 |
20 |
20 |
纳米 |
|
双向重复性 |
±120 |
±120 |
±120 |
纳米 |
典型值 |
参考点开关重复精度 |
<1 |
<1 |
<1 |
微米 |
|
螺距 |
±50 |
±100 |
±200 |
微弧度 |
最大 |
偏转角 |
±50 |
±100 |
±200 |
微弧度 |
最大 |
直线度 |
0.5 |
1 |
2.5 |
微米 |
最大 |
平面度 |
0.5 |
0.5 |
1 |
微米 |
最大 |
速度 |
250 |
250 |
250 |
毫米/秒 |
最大 |
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